Физические методы диагностики в микро - и наноэлектронике

  • Main
  • Physics
  • Физические методы диагностики в микро -...

Физические методы диагностики в микро - и наноэлектронике

Беляев А.Е., Конакова Р.В (ред.)
How much do you like this book?
What’s the quality of the file?
Download the book for quality assessment
What’s the quality of the downloaded files?
Харьков: ИСМА. 2011. - 284 с.
ISBN 978-966-02-5859-4Монография охватывает базовые физические методы диагностики в микроэлектронике: методы рентгеновской дифракционной диагностики полупроводниковых материалов и структур для СБИС и ряда дискретных полупроводниковых приборов, а также полупроводниковых структур с квантовыми точками, квантовыми ямами и сверхрешетками; методы электронной микроскопии, Оже-электронной спектрометрии, РФЭС, ВИМС и обратного резерфордовского рассеяния, а также ряд зондовых методов в диагностике контактной металлизации и электрофизических параметров полупроводниковых материалов; теплофизические методы в диагностике микроволновых диодов и светодиодов.
Значительное внимание уделено методам математического моделирования механизмов токопереноса в контактах металл-полупроводник с высокой плотностью дислокаций в приконтактной области полупроводника и физико-статистическому моделированию отказов.Содержание:
- Методы рентгеновской дифракционной диагностики кристаллов, гетероструктур и приборных структур полупроводников
- Методы электронной микроскопии, электронной и ионной спектроскопии в диагностике полупроводниковых материалов и структур
- Методы и средства неразрушающего контроля качества полупроводниковых изделий по их тепловым параметрам
- Зондовые методы измерений параметров полупроводниковых материалов и структур
- Механизмы формирования контактного сопротивления омических контактов металл—полупроводник. Теоретическое моделирование
- Физико-статистическое моделирование отказов в задачах диагностики полупроводниковых приборов Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Венгер Е.Ф., Волков Е.Г., Кладько В.П., Конакова Р.В., Кудрик Я.Я., Миленин В.В., Миленин Г.В., Пилипенко В.А., Редько Р.А., Саченко А.В.
Categories:
Language:
russian
ISBN 10:
9660258593
ISBN 13:
9789660258594
File:
PDF, 5.73 MB
IPFS:
CID , CID Blake2b
russian0
Download (pdf, 5.73 MB)
Conversion to is in progress
Conversion to is failed

Most frequently terms